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J-GLOBAL ID：201502220395116126   整理番号：15A1369224

カーボン微細電子機械システム(C-MEMS)による微細スーパーキャパシタ

Carbon microelectromechanical systems (C-MEMS) based microsupercapacitors

著者 (4件)： AGRAWAL Richa (Florida International Univ., FL) ,  BEIDAGHI Majid (Drexel Univ., PA) ,  CHEN Wei (King Abdullah Univ. Sci. and Technol., SAU) ,  WANG Chunlei (Florida International Univ., FL)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9493  ページ： 94930C.1-94930C.7  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： C-MEMSによる各種電気化学蓄電器システムの強化についての技術と方法について検討した。C-MEMSはパターンフォトレジストの熱分解によるカーボン構造生成など多能な技術である。微細スーパーキャパシタ応用,カーボンナノチューブのようなカーボンナノ構造の集積などについて述べた。3D微細スーパーキャパシタのための有望なプラットフォームの構造が製作可能で,微細電極設計,電力材料の合成,ESD(electrostatic spray deposition)の最適化による微細スーパーキャパシタのさらなる性能改良を期待する。

シソーラス用語： *MEMS ,  *炭素 ,  *微細構造 ,  *電力コンデンサ ,  電気化学反応 ,  コンデンサ ,  フォトレジスト ,  熱分解 ,  カーボンナノチューブ ,  クラスタ分子 ,  ナノ構造 ,  放電 ,  設計 ,  最適化
準シソーラス用語： ESD【放電】 ,  カーボンナノ構造体 ,  *スーパーキャパシタ ,  電極設計

分類 (1件)： 静電機器  (NB10020R)

タイトルに関連する用語 (6件)： カーボン ,  微細 ,  電子 ,  機械システム ,  MEMS ,  スーパーキャパシタ