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J-GLOBAL ID:201502220724693750   整理番号:15A0948902

無蒸気環境中のSiOx系記憶素子に及ぼすCuxOバッファ層の影響

Effects of a Cu x O Buffer Layer on a SiO x -Based Memory Device in a Vaporless Environment
著者 (2件):
資料名:
巻: 10  号:ページ: 10:290 (WEB ONLY)  発行年: 2015年12月 
JST資料番号: U7001A  ISSN: 1931-7573  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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Cu/SiOx/Pt構造(比較参照試料)の抵抗スイッチング特性は湿度との直接相関を示した。H2O蒸気はCu/SiOx界面に酸化銅を形成し,酸化銅からSiOx層へCuイオンが注入され,抵抗スイッチングが向上した。しかし,比較参照試料は無蒸気環境中で大幅なスイッチング分散を示した。Cu/CuxO/SiOx/Pt構造(CuxO試料)中のCuxO層はCu電極からSiOx層へのCuイオンの溶解を助け,無蒸気環境中の効果的電気化学抵抗スイッチングを可能にした。CuxO試料は無蒸気環境中で低いスイッチング分散と好ましい耐久性を示した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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半導体集積回路 
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