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J-GLOBAL ID：201502220900970625   整理番号：15A0773552

プッシュプル型アクチュエータに基づくトグル機構を使った10~25GHz周波数再構成可能MEMS 5ビット移相器

10-25GHz frequency reconfigurable MEMS 5-bit phase shifter using push-pull actuator based toggle mechanism

著者 (2件)： DEY Sukomal (Indian Inst. Technol., New Delhi, IND) ,  KOUL Shiban K (Indian Inst. Technol., New Delhi, IND)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 25  号： 6  ページ： 065011,1-19  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一定の分解能(11.25°)を持つ32位相状態を与えることができる,RF MEMS技術に基づく10~25GHz帯域同調可能で再構成可能5ビット分布MEMS伝送線路(DMTL)移相器について報告した。周波数同調の主な源はブリッジアクチュエーションメカニズムとそれに続く容量変化である。2段プッシュプルメカニズムを使って2:1の同調比を達成した。この移相器の機能特性について理論的解析を述べた。この移送器の面積は15.6mm²である。さらに,ユニットセルと完全な5ビットMEMS移相器のコールドスイッチド信頼性について詳細に調べた結果を報告した。

シソーラス用語： プッシュプル増幅器 ,  アクチュエータ ,  トグル装置 ,  可能性 ,  *再構成 ,  *MEMS ,  HF【周波数】 ,  *移相器 ,  同調 ,  信頼性
準シソーラス用語： *RF MEMS ,  トグル機構 ,  *再構成可能 ,  周波数同調

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の伝送回路素子  (NC04070U)

タイトルに関連する用語 (6件)： プッシュプル ,  アクチュエータ ,  トグル機構 ,  再構成可能 ,  MEMS ,  移相器