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J-GLOBAL ID：201502221034510950   整理番号：15A1328134

レーザー誘起ドット転写法によるナノドットの作製

On-Demand Patterning of Nanodots by Laser-Induced Dot Transfer

著者 (3件)： 奈良崎愛子 (産業技術総合研 機能化学研究部門) ,  佐藤正健 (産業技術総合研 機能化学研究部門) ,  新納弘之 (産業技術総合研 機能化学研究部門)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 43  号： 11  ページ： 777-781  発行年： 2015年11月20日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザ転写法は,真空や薬液処理などを必要とせず,微細なパターンを形成できる。レーザ集光点からドットのみが正確に転写されることに着目し,レーザ誘起ドット転写法を開発した。この方法を利用して,FeSi₂のナノドットを作製し,ドット/転写用基板間の付着力について検討した。膜厚を薄膜化し,集光ビームスポットを低減して,直径約500nmのドットアレイを実現した。5%フッ化水素の水溶液への浸漬処理がドットアレイ中のドット充填率および平均直径に与える影響を検討した。この結果,浸漬処理後の平均直径が浸漬前の約76%に減少するが,充填率は浸漬前の98%から95%であることが判明した。本手法で作製したドットと基板表面間には強い付着力が生じていることが分かった。

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  *パターン形成 ,  *レーザ応用 ,  *転写 ,  レーザ照射 ,  微細構造 ,  集光 ,  鉄合金 ,  ケイ素含有合金 ,  付着力 ,  膜厚 ,  基板 ,  ビーム集束 ,  アレイ ,  水溶液 ,  フッ化水素 ,  因子 ,  比率 ,  直径
準シソーラス用語： *ナノドット ,  ビームスポット ,  充填率

分類 (3件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

引用文献 (16件)：

• J. Bohandy, B. F. Kim, and F. J. Adrian: J. Appl. Phys. 60 (1986) 1538.
• V. Schultze and M. Wagner: Appl. Surf. Sci. 52 (1991) 303.
• A. Piqué, D. B. Chrisey, R. C. Y. Auyeung, J. Fitz-Gerald, H. D. Wu, R. A. McGill, S. Lakeou, P. K. Wu, V. Nguyen, and M. Duignan: Appl. Phys. A 69 (1999) S279.
• Y. Nakata and T. Okada: Appl. Phys. A 69 (1999) S275.
• D. A. Willis and V. Grosu: Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 244103.

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザー誘起 ,  ドット ,  転写 ,  ナノドット ,  作製