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J-GLOBAL ID：201502221082788499   整理番号：15A0976034

鋼表面上の炭素膜の接着性ダイヤモンド様の性質に及ぼすアルゴン希釈ヘキサン前駆体の効果

Effect of hexane precursor diluted with argon on the adherent diamond-like properties of carbon films on steel surfaces

著者 (3件)： CAPOTE G. (Universidad Nacional de Colombia, Facultad de Ciencias, Departamento de Fisica, Carrera 45, N. 26-85 - Edificio ...) ,  SILVA G.F. (Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), Laboratorio Associado de Sensores e Materiais (LAS), Av. dos ...) ,  TRAVA-AIROLDI V.J. (Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), Laboratorio Associado de Sensores e Materiais (LAS), Av. dos ...)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 589  ページ： 286-291  発行年： 2015年08月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機械的性質と摩擦特性の最良の組合せを見つけるために,ダイヤモンド状炭素(DLC)成長の様々な前駆体を調べた。ここでは,アルゴンを不活性添加ガスに用いてヘキサンを調べた。膜の微細構造と水素含有量をRaman分光法により調べた。膜の接着を引掻き試験により評価した。AISI304ステンレス鋼表面上のこれらの膜の低接着力を克服するために,低エネルギーイオン注入とシラン前駆体ガスを用いて得たSi中間層を用いた。結果は高品質のアルゴンを用いて希釈した前駆体ヘキサン雰囲気が膜の性質を改質できることを示した。膜成長時のイオン照射が膜の性質に及ぼす重要性を確認した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 炭素 ,  薄膜 ,  性質 ,  アルゴン ,  *特性 ,  *摩擦 ,  Ramanスペクトル ,  付着力 ,  イオン注入 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *化学蒸着 ,  薄膜成長 ,  アルカン
準シソーラス用語： 接着性 ,  接着力 ,  炭素膜 ,  *摩擦特性

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

物質索引 (1件)： ヘキサン

タイトルに関連する用語 (9件)： 鋼 ,  炭素膜 ,  接着性 ,  ダイヤモンド ,  性質 ,  アルゴン ,  希釈 ,  ヘキサン ,  前駆体