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J-GLOBAL ID：201502221102374890   整理番号：15A1033296

真空システム

Vacuum Systems

著者 (1件)： 高橋主人 (大島商船高等専門学校)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 58  号： 8  ページ： 292-298 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 真空排気過程と排気時間に関連する種々の課題を解説した。大気圧から極低圧まで真空排気過程には4つの段階が関係する。すなわち,真空容器中の体積気体の排気,真空容器壁に吸着した気体の脱ガス,真空容器内部から表面へ拡散した気体の排気,そして真空容器壁を通して侵入した水素気体の排気である。これら段階は数値計算により説明して,真空排気過程の理解を深めた。排気の第1段階の排気時間の数学的な記述は真空容器と真空ポンプをつなぐ管を使って,また使わないで行った。1.真空排気過程,1)吸着気体分子の排気,2)ベーキングの役割,3)材料内部に吸蔵されている気体分子の排気,2.真空排気系と排気時間,1)配管のコンダクタンスと実効排気速度,2)排気の方程式,3)真空ポンプの排気速度,3.短時間排気に関連した現象,の章に分けて解説を行った。

シソーラス用語： 排気 ,  *真空容器 ,  真空脱ガス ,  吸着 ,  気体 ,  水素 ,  *真空ポンプ ,  水素吸蔵 ,  コンダクタンス ,  水素ガス ,  行為
準シソーラス用語： *真空排気 ,  水素気体

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (23件)：

• 1) J. F. O'Hanlon: <i>A User's Guide to Vacuum Technology</i> (John Wiley & Sons, New York, 1989) p. 68.
• 2) K. Odaka, Y. Ishikawa and M. Furuse: Shinku, 29 (1986) 288.
• 3) R. Calder, G. Lewin: CERN-ISR-VAC-66-28 (1966).
• 4) H. Kumagai, G. Tominaga, Y. Tuzi and G. Horikoshi: Shinku no Butsuri to Ohyo (Shokabo, Tokyo, 1970) p. 175.
• 5) C. Hayashi ed.: Shinku-Gijyutsu (Kyoritu-Syuppan, Tokyo, 1985) p. 119.

タイトルに関連する用語 (1件)： 真空