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J-GLOBAL ID：201502221121560050   整理番号：15A1329909

注目技術 第28回 FCVA方式による装飾系・機能性ta-Cコーティング

資料名： Mechanical Surface Tech  (Mechanical Surface Tech)
号： 28  ページ： 40-41  発行年： 2015年10月25日 
JST資料番号： L8462A  ISSN： 2758-1608  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フィルタ型カソーディック真空アーク(FCVA)方式による装飾系・機能性テトラヘドラルアモルファス炭素(ta-C)被覆とその適用を報告した。まず,本方式開発の経緯をたどり,方法と構造を説明した。次に方式の特徴を列挙した。ta-C膜の特性と適用を述べ,本皮膜の摩耗試験結果を図説した。最後に各種試験に対する評価結果をまとめた。

シソーラス用語： *真空アーク ,  ダイヤモンド状炭素 ,  イオンビーム蒸着 ,  硬度 ,  プラズマ生成 ,  電磁場 ,  密着性 ,  *被覆 ,  皮膜 ,  密度 ,  耐摩耗性 ,  摩耗試験 ,  引かき試験 ,  *非晶質 ,  *炭素 ,  *イオンめっき ,  四面体 ,  プラズマ ,  アーク放電
準シソーラス用語： FCVA ,  アークプラズマ ,  *テトラヘドラルアモルファスカーボン ,  *フィルタードアーク蒸着

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 注目 ,  装飾 ,  機能性 ,  ta-C ,  コーティング