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J-GLOBAL ID:201502221180372356   整理番号:15A0481498

近赤外InGaAsエリアイメージセンサとその応用

著者 (5件):
資料名:
巻: 39  号: 5(IST2015 1-9)  ページ: 35-38  発行年: 2015年01月26日 
JST資料番号: S0209A  ISSN: 1342-6893  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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InGaAs検出器を用いた,近赤外領域に波長感度を持つ,エリアイメージセンサを製品化した。センサの主な要素技術として,化合物半導体プロセス技術,異種材料チップ接合技術,CMOS信号処理回路技術の三つがある。本稿ではセンサの構成,信号処理回路,センサの特性について紹介し,最後に20μmピッチ,640×512画素のInGaAsエリアイメージセンサの撮像例を示す。(著者抄録)
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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計測機器一般  ,  半導体集積回路 
タイトルに関連する用語 (5件):
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