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J-GLOBAL ID:201502221401300720   整理番号:15A1033294

真空技術超入門

Introduction to Vacuum Science and Technology for Absolute Beginners
著者 (1件):
資料名:
巻: 58  号:ページ: 273-281 (J-STAGE)  発行年: 2015年 
JST資料番号: G0194A  ISSN: 1882-2398  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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初心者が真空の科学技術を学ぶとき,真空に関する様々な状況を紹介した。真空ポンプから始め,真空計,真空装置を構成する部品の三部に分けた解説を行った。1.真空と気体,2.真空を作る=真空引き(真空ポンプの基礎),1)容積移送式真空ポンプ,2)運動量輸送式真空ポンプ,(ターボ分子ポンプ,油拡散ポンプ,粗引き),3)ため込み式ポンプ,3.真空を測る(真空計の基礎),1)機械的圧力を利用した真空計,2)気体の熱伝導を利用した真空計,3)気体分子のイオン化を利用した真空計,4.真空をつなぐ,1)真空装置を構成するパーツ(真空ゴムホース,フランジ,ゲージポート),2)気体の流れやすさ:コンダクタンス,の章に分けて解説を行った。
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分類 (1件):
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真空技術 
引用文献 (5件):
  • N. Matuda: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 199.
  • K. Fukutani: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 204.
  • H. Akimichi: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 220.
  • J. Yuyama and Y. Suetsugu: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 210.
  • 真空技術基礎講習会運営委員会:わかりやすい真空技術(日刊工業新聞社,東京,1990).
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