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J-GLOBAL ID:201502228983282016   整理番号:15A0276849

硝酸塩焼結助剤を添加して焼結したAlNセラミックスの第二相,微細構造及硝酸カルシウムび特性

Secondary phases, microstructures and properties of AlN ceramics sintered by adding nitrate sintering additives
著者 (8件):
資料名:
巻: 114  号:ページ: 77-81  発行年: 2015年02月 
JST資料番号: E0272A  ISSN: 1743-6753  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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Si及びGaAsと熱膨張係数が一致し,高い熱伝導率と抵抗率及び低い誘電率を持つことから,高性能で高い形状精度を持つ電子パッケージ材料として期待されるAlNの低温焼結について,Ca及びYの無水硝酸塩を焼結助剤として用いて検討した。Ca(NO3)2及びY(NO3)3のエタノール溶液と市販AlN粉末をボールミル混合し,窒素気流中,1600~1800°Cで焼結することにより試料を作製し,アルキメデス法,XRD,SEM,レーザー熱分析及び曲げ強さ測定によりそのキャラクタリゼーションを行った。1700°C焼結の時,最大の相対密度(99.27%),熱伝導率(136.7Wm-1K-1)及び曲げ強さ(373.7MPa)を示した。温度と第二相及び微細構造の進化過程についても報告し,最良の特性が実現する機構について考察した。
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分類 (3件):
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セラミック・陶磁器の製造  ,  セラミック材料  ,  比熱・熱伝導一般 

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