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J-GLOBAL ID：201502229166979850   整理番号：15A0227184

キャビティリングダウン吸収分光法によるプラズマ計測

著者 (1件)： 佐々木浩一 (北大 大学院工学研究院)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 91  号： 1  ページ： 2-9  発行年： 2015年01月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： キャビティリングダウン吸収分光法は,主に気体中の微量原子/分子等を高感度に検出し,その密度を求める方法として,様々な分野で広く用いられている。一対の高反射率ミラーからなるキャビティの内部に測定対象を置き,キャビティ内でレーザー光を多数回往復させるという単純とも思われる工夫により,通常のレーザー吸収分光法の10⁴倍以上の高感度が容易に得られ,反応性の高さ故にプラズマ中で低密度となる反応中間種の密度計測,および,遷移確率が小さいために通常の吸収分光法では検出が困難なラジカル種の密度計測などにおいて威力を発揮する。本解説では,キャビティリングダウン吸収分光法の原理について基礎的事項を含めて述べた後,キャビティリングダウン吸収分光法を用いたプラズマ計測について,主に我が国における取り組みを紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ診断 ,  *光学的測定 ,  光吸収 ,  パルスレーザ ,  計測 ,  ラジカル
準シソーラス用語： *キャビティリングダウン吸収分光法 ,  レーザ吸収分光 ,  *レーザ計測 ,  密度計測

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (29件)：

• D.Z. Anderson et al., Appl. Opt. 23, 1238 (1984).
• A. O'Keefe and D.A.G. Deacon, Rev. Sci. Instrum. 59, 2544 (1988).
• G. Meijer et al., Proc. 6th Int. Symp. Laser-Aided Plasma Diagnostics (Bar Harbor, USA, 1993) p.273.
• K.W. Busch and M.A. Busch ed., Cavity-Ringdown Spectroscopy: an Ultratrace-Absorption MeasurementTechnique (Americal Chemical Society, 1999).
• G. Berden and R. Engeln ed., Cabity Ring-Down Spectroscopy: Techniques and Applications (Wiley, 2009).

タイトルに関連する用語 (2件)： 吸収分光法 ,  プラズマ計測