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J-GLOBAL ID：201502229772657575   整理番号：15A0531479

イオンビーム源分析に向けた小型飛行時間質量/電荷分光計の開発

Development of a miniature time-of-flight mass/charge spectrometer for ion beam source analyzing

著者 (16件)： HUANG Zhengxu (Inst. of Atmosphere Environment Security and Pollution Control, Jinan Univ., Guangzhou 510632, CHN) ,  HUANG Zhengxu (Inst. of Environmental Pollution and Health, School of Environmental and Chemical Engineering, Shanghai Univ. ...) ,  TAN Guobin (Inst. of Environmental Pollution and Health, School of Environmental and Chemical Engineering, Shanghai Univ. ...) ,  ZHOU Zhen (Inst. of Atmosphere Environment Security and Pollution Control, Jinan Univ., Guangzhou 510632, CHN) ,  ZHOU Zhen (Inst. of Environmental Pollution and Health, School of Environmental and Chemical Engineering, Shanghai Univ. ...) ,  CHEN Lei (Inst. of Electronic Engineering, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  CHENG Liang (Inst. of Electronic Engineering, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  JIN Dazhi (Inst. of Electronic Engineering, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  TAN Xiaohua (Inst. of Electronic Engineering, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  XIE Chunguang (Guangzhou Hexin Analytical Instrument Co., Ltd., Guangzhou 510530, CHN) ,  LI Lei (Inst. of Atmosphere Environment Security and Pollution Control, Jinan Univ., Guangzhou 510632, CHN) ,  DONG Junguo (Inst. of Environmental Pollution and Health, School of Environmental and Chemical Engineering, Shanghai Univ. ...) ,  FU Zhong (Inst. of Environmental Pollution and Health, School of Environmental and Chemical Engineering, Shanghai Univ. ...) ,  FU Zhong (Guangzhou Hexin Analytical Instrument Co., Ltd., Guangzhou 510530, CHN) ,  CHENG Ping (Inst. of Environmental Pollution and Health, School of Environmental and Chemical Engineering, Shanghai Univ. ...) ,  GAO Wei (Inst. of Atmosphere Environment Security and Pollution Control, Jinan Univ., Guangzhou 510632, CHN)
資料名： International Journal of Mass Spectrometry  (International Journal of Mass Spectrometry)
巻： 379  ページ： 60-64  発行年： 2015年03月15日 
JST資料番号： D0625A  ISSN： 1387-3806  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空アーク放電過程を診断するため,陰極真空アーク放電イオン源用に,緻密な構造を持つ小型飛行時間質量分析計(TOF-MS)を開発した。小型TOF-MS用に直交加速領域と角度反射器を用いた。特に,比較的高い分解能を得るため加速領域で小さな抽出孔を設定し,広いイオン運動エネルギー分布測定能力を得るため大きな長方形有効面積を持つイオン検出器を設計した。小型サイズのTOF-MSは413mm×250mm×414mm,質量分解能は600(FWHM)で,イオン運動エネルギーの検出範囲は強度的に二桁オーダだった。銅陰極真空アーク放電イオン源をテストし,1+から3+のCuイオン荷電状態を検出した。小型TOF-MSを開発したが,比較的高い質量分解能と広いイオン運動エネルギー分布測定能力を有し,陰極真空アーク放電プラズマ診断に用いられる。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *質量分析計 ,  小型 ,  カソード ,  *真空アーク ,  *アーク放電 ,  *イオン源 ,  *プラズマ診断 ,  加速 ,  反射器 ,  分解能 ,  運動エネルギー ,  エネルギー分布 ,  選択イオンモニタリング ,  FWHM ,  状態 ,  電荷
準シソーラス用語： *飛行時間型質量分析計 ,  陰極 ,  イオン加速 ,  質量分解能 ,  イオンエネルギー分布 ,  選択イオン検出 ,  荷電状態

分類 (4件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  プラズマ診断  (BJ02090L) ,  気体放電  (BJ03020T) ,  加速器一般及び理論  (BE02010M)

タイトルに関連する用語 (7件)： イオンビーム ,  分析 ,  飛行時間 ,  質量 ,  電荷 ,  分光計 ,  開発