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J-GLOBAL ID：201502230653483974   整理番号：15A0494964

塗布熱分解法による超電導膜の合成 - 限流器等への研究展開 -

Preparation of superconducting films by metal organic deposition - Research and development towards a fault current limiter and other electric devices -

著者 (6件)： 真部高明 (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  相馬貢 (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  山口巖 (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  松井浩明 (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  土屋哲男 (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  熊谷俊弥 (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門)
資料名： Synthesiology  (Synthesiology)
巻： 7  号： 4  ページ： 247-257 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： L6839A  ISSN： 1882-6229  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酸化物超電導体を薄膜や長尺テープ状に加工できれば電力分野やマイクロ波デバイス等への応用が図れるが、これら超電導体は脆く難加工性であるため、まず超電導薄膜製造技術の確立が重要である。この論文では、事故電流抑制に有望な限流器応用を目的として、塗布熱分解法(MOD)により高品質な大面積超電導膜の合成技術を開発した際に、製品ニーズに対応する目標を達成するために採用したシナリオや要素技術等を紹介する。塗布熱分解法は、原料溶液を基板に塗って焼成するだけという低コストで簡便な金属酸化物の成膜技術である。(著者抄録)

シソーラス用語： *超伝導薄膜 ,  マイクロ波照射 ,  化学合成 ,  *熱分解 ,  塗布 ,  *限流器 ,  マイクロ波 ,  金属酸化物 ,  生産技術 ,  技術 ,  技術開発 ,  超伝導体 ,  酸化物 ,  高温超伝導体 ,  固体素子 ,  面積 ,  焼成 ,  マイクロ波デバイス ,  マイクロ波合成 ,  酸化物超伝導体 ,  大面積
準シソーラス用語： 要素技術

分類 (3件)： 超伝導体の物性一般  (BM04021A) ,  薄膜一般  (BK14010X) ,  保護装置  (NB09040T)

引用文献 (45件)：

• [1] 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構:「交流超電導電力機器基盤技術研究開発」事業原簿, I-2-I-6 (2005). http://www.nedo.go.jp/content/100091370.pdf
• [2] 大熊武, 岩田良浩: 超電導限流器, 電気学会誌, 117 (4), 222-226 (1997).
• [3] 水田 進, 熊谷俊弥, 真部高明: 塗布熱分解法による超伝導膜の合成, 日本化学会誌, 1997 (1), 11-23 (1997).
• [4] 山口 巖, 真部高明, 熊谷俊弥, 水田 進: 塗布熱分解法によるエピタキシャル酸化物膜の作製, 日本応用磁気学会誌, 24 (8), 1173-1180 (2000).
• [5] 荒木猛司, 山際勝也, 平林泉: トリフルオロ酢酸塩(TFA)を用いるMetalorganic deposition (MOD)法によるYBCO成膜とプロセス条件, 低温工学, 35 (11), 516-522 (2000).

タイトルに関連する用語 (4件)： 超電導膜 ,  限流器 ,  研究 ,  展開