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J-GLOBAL ID：201502230689772034   整理番号：15A0328799

Lorentz力に駆動される横方向大ストロークを持つ新規MEMSアクチュエータ

A novel MEMS actuator with large lateral stroke driven by Lorentz force

著者 (9件)： LV Xingdong (Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  LV Xingdong (State Key Lab. of Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  WEI Weiwei (Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  WEI Weiwei (State Key Lab. of Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  MAO Xu (Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  MAO Xu (State Key Lab. of Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  YANG Jinling (Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN) ,  YANG Jinling (State Key Lab. of Transducer Technol., Shanghai, CHN) ,  YANG Fuhua (Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 25  号： 2  ページ： 025009,1-7  発行年： 2015年02月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロアクチュエータは多くのマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)装置に対する重要なビルディングブロックである。本論文において筆者らは,Lorentz力に駆動される横方向大ストロークを持つ新規線形MEMSアクチュエータを開発した。Lorentz力は磁束密度と電流に比例する。アクチュエータの構造と規模を最適化することにより,横方向ディスプレイスメントを達成した。駆動電圧はMEMSアクチュエータをICと容易に統合するのに十分に低かった。そのアクチュエータに対し電流へのディスプレイスメントの線形依存を達成した。磁場と電流を増加することにより,より大きなディスプレイスメントを達成しうる。本アクチュエータは光スイッチ,可変光減衰器などの潜在的応用を持つ。

シソーラス用語： *Lorentz力 ,  駆動 ,  横方向 ,  長さ ,  *MEMS ,  *アクチュエータ ,  マイクロアクチュエータ ,  ブロック ,  回路モジュール ,  磁束密度 ,  電流 ,  変位
準シソーラス用語： ストローク【長さ】 ,  ディスプレイスメント ,  ビルディングブロック ,  *マイクロエレクトロメカニカルシステム

分類 (2件)： その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  電磁場中の粒子の運動及び放射  (BD01030Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： Lorentz力 ,  横方向 ,  ストローク ,  MEMS ,  アクチュエータ