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J-GLOBAL ID：201502231107496050   整理番号：15A0302681

二流体ジェット法における気体種の影響

Effect of Surrounding Gas Species of Two Fluid Jet Method for Surface Cleaning

著者 (2件)： 真田俊之 (静岡大学大学院工学研究科機械工学専攻) ,  渡部正夫 (北海道大学大学院工学研究院機械宇宙工学部門)
資料名： エアロゾル研究  (Journal of Aerosol Research)
巻： 29  号： 4  ページ： 236-240 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： L0641A  ISSN： 0912-2834  CODEN： EAKEEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 二流体ジェット法と呼ばれる洗浄手法について,その原理や液滴衝突後の挙動について紹介した。通常二流体ジェットの気体として使用される空気や窒素を水蒸気に変更した水蒸気二流体ジェットという洗浄法についてその構造原理や気体種の違いがどのような結果をもたらすかについて述べた。液滴が壁面に衝突すると高速な横方向の液膜流れが形成される。その液膜からのスプラッシュの形成過程条件について論じた。また水蒸気雰囲気中では,スプラッシュが形成されにくい条件になっているとの仮説を紹介した。

シソーラス用語： *ノズル ,  噴流 ,  水蒸気 ,  水 ,  水洗 ,  液滴 ,  衝突 ,  液膜 ,  飛沫 ,  *洗浄
準シソーラス用語： ジェット【噴流】 ,  スプラッシュ ,  *二流体ノズル ,  液滴衝突 ,  水性洗浄 ,  流下液膜

分類 (2件)： 集塵  (XD02100D) ,  膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U)

引用文献 (13件)：

• 1) Sanada, T., Saito, T., Hayashida, A., Saito, T., Yamase, M. and Watanabe, M.: Development of Cleaning Technique by Using Spray Mixed with Steam and Water, J. Jet Flow Eng., 24, 4-10 (2007) (in Japanese)
• 2) Sanada, T., Watanabe, M., Hayashida, A. and Isago: Post Ion-Implant Photoresist Stripping Using Steam and Water: Pre-Treatment in a Steam Atmosphere and Steam-Water Mixed Spray, Y., Solid State Phenom., 145-146, 273-276 (2009)
• 3) Sanada, T., Watanabe, M., Shirota, M., Yamase M. and Saito T.: Impact of High-speed Steam-Droplet Spray on Solid Surface, Fluid Dyn. Res., 40, 627-636 (2008)
• 4) Hayashida, A., Seki, A., Mashiko, T., Sanada, T. and Watanabe, M.: Removal of Post-Dry Etch Residue Using Ultra Low Environmental Load Technique, ECS Trans., 25, 249-256 (2009)
• 5) Ibrahim, A. H., Dunn, P. H. and Brach, R. M.: Microparticle Detachment from Surfaces Exposed to Turbulent Air Flow: Contolled Experiments and Modeling, J. Aerosol Sci., 34, 765-782 (2003)

タイトルに関連する用語 (3件)： 流体 ,  ジェット ,  気体種