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J-GLOBAL ID:201502231613224417   整理番号:15A0523624

ナノ/マイクロ電気機械システムにおける振動減衰材料とその応用: レビュー

Vibration Damping Materials and Their Applications in Nano/Micro-Electro-Mechanical Systems: A Review
著者 (2件):
資料名:
巻: 15  号:ページ: 1907-1924  発行年: 2015年03月 
JST資料番号: W1351A  ISSN: 1533-4880  CODEN: JNNOAR  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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大規模な振動減衰に使われる伝統的な粘弾性材料からマイクロ電気機械システム(MEMS)用のハイブリッド薄膜ヘテロ構造に至るまでの振動減衰材料を総合的に概観した。ゴム,重合体,金属,金属-マトリックス複合体,スマート材料のような振動減衰材料を減衰能,スティフネス,機械的強度と性能指数の見地からレビューした。強弾性/強弾性薄膜ヘテロ構造から成るMEMS構造に対する新しい振動減衰法の開発に焦点を当てた。本レビューは,1)序論,2)粘弾性材料(粘弾性減衰/自由層減衰/制限層減衰/粘弾性減衰に影響を及ぼす要因/粘弾性減衰の応用),3)金属-マトリックス複合体,4)スマート材料,5)ナノ/マイクロスケールでの振動減衰,6)結論,から構成されている。
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分類 (1件):
分類
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振動伝搬 
タイトルに関連する用語 (4件):
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