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J-GLOBAL ID：201502231933019218   整理番号：15A0660428

閉じたマイクロチャネルの内壁上の階層的なしわ構造

HIERARCHICAL WRINKLE STRUCTURING ON INSIDE WALL OF CLOSED MICRO CHANNEL

著者 (2件)： TAKEI A. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUJITA H. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.2  ページ： 829-832  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロチャネル作成に広く利用されているフォトリソグラフィでは内壁は滑らかになる。本稿では,閉じたチャネル内壁用の表面構築手法を提案した。残留応力とプラスチック変形によって誘導されたしわ形成を使って,階層的構造を内壁に形成した。膜の厚み,基材の堅さと伸張性を変えて,一次元のしわの形成を実験的に定量化した。構造化したマイクロチャネルの混合強化を実験的に確認した。文献によれば,平面構造の上にしわパターンを形成しても,表面は,疎水性表面,スマート粘着表面及び細胞培養のテンプレートなど,多領域の応用の官能化表面として使うことができる。従って,混合強化のためだけではなく,提案した手法は,三次元官能化表面を有するマイクロチャネル作成への道を拓いた。

シソーラス用語： *マイクロチャネル ,  *皺 ,  *内壁 ,  残留応力 ,  収縮 ,  官能化 ,  平面構造
準シソーラス用語： プラスチック収縮

分類 (2件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  管内流  (BC02090Q)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロチャネル ,  内壁