抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ナノステージを組み込んだ金型を作成し,直径80μmの微細穴開け実験を行った。金型に組み込んだナノステージはPZT特有のヒステリシスはあるものの,最大クリアランスを金型での位置調整量と考えれば,ナノメートルオーダでの位置制御が容易にできることを示した。PC上での位置指令値を書き換えるだけで調整が可能であり,わずか数分でセンタークリアランスを得る実験が可能となった。