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J-GLOBAL ID：201502232290443030   整理番号：15A0502046

窒素ガス流量を変え反応性スパッタリングで蒸着したδ-(Ti,Mo)N膜の摩耗と酸化挙動

Wear and oxidation behavior of reactive sputtered δ-(Ti,Mo)N films deposited at different nitrogen gas flow rates

著者 (6件)： KOMIYAMA S. (Dep. of Materials Sci., Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-11, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN) ,  SUTOU Y. (Dep. of Materials Sci., Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-11, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN) ,  OIKAWA K. (Dep. of Materials Sci., Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-11, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN) ,  KOIKE J. (Dep. of Materials Sci., Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-11, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN) ,  WANG M. (Coating Res. and Dev. Dep., OSG Corp., 1-15 Honnogahara, Toyokawa 442-8544, JPN) ,  SAKURAI M. (Coating Res. and Dev. Dep., OSG Corp., 1-15 Honnogahara, Toyokawa 442-8544, JPN)
資料名： Tribology International  (Tribology International)
巻： 87  ページ： 32-39  発行年： 2015年07月 
JST資料番号： E0409B  ISSN： 0301-679X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素ガス流量fN2を低いと高いに変えて蒸着したδ-(Ti,Mo)Nの摩耗特性を調べた。fN2が2.0sccmの膜は0.3の膜より接着摩耗抵抗が良かった。その改善は摩耗酸化によるMo酸化物デブリスが形成されるためである。Mo酸化物は,fN2が0.3sccmの膜より2.0sccmの膜に形成されやすいことが分かった。熱力学的考察から,N成分量の増加とともに,δ-(Ti,Mo)N内のTiの活性が低下するので,fN2が2.0sccmの膜内でMo酸化が促進され,摩耗特性が良くなることが示された。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 気体 ,  流量 ,  *反応性スパッタリング ,  チタン ,  モリブデン ,  *蒸着膜 ,  摩耗 ,  *酸化 ,  金属酸化物 ,  熱力学
準シソーラス用語： 窒素ガス

分類 (1件)： 金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (8件)： 窒素 ,  ガス流量 ,  反応性スパッタリング ,  蒸着 ,  Ti ,  Mo ,  摩耗 ,  酸化挙動