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J-GLOBAL ID：201502234591856227   整理番号：15A0403489

製造工場の管理者はサプライズが嫌いである

Fab Managers Don’t Like Surprises

著者 (2件)： PRICE David W. (KLA-Tencor, CA) ,  SUTHERLAND Douglas G. (KLA-Tencor, CA)
資料名： Solid State Technology  (Solid State Technology)
巻： 58  号： 1  ページ： 33-34  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： E0226A  ISSN： 0038-111X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体IC製造の工程管理の根本的な真理の4番目は,「工程管理に変更を加えるときは,リスクのあるロットを常に定量化しなさい」である。これは,測定データの不確かさを理解することと同じである。工程管理のリスクは2種類しかない。管理範囲からは外れるが実際には問題のないαリスク,および管理範囲内ではあるが実際には問題のあるβリスクである。管理範囲の上限値や下限値を移動することでリスクの低減は可能であるが,αリスクの縮小はβリスクの増大という代償を伴う。測定感度や検査面積の変更等,測定のやり方自体を変えるときは,管理限界値を見直す必要がある。一例として,ウエハの欠陥検査を考察した。コスト削減のために工程管理のやり方を変更することは,短期的な解決策のようにみえるが,持続することはめったにない。工場の管理者はサプライズが嫌い,という単純な理由のためである。

シソーラス用語： *工程管理 ,  *プロセス制御 ,  *製造 ,  リスク ,  限界 ,  *欠陥検査
準シソーラス用語： *IC製造 ,  管理限界 ,  *定量化

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  工程管理  (KB03030P)

タイトルに関連する用語 (1件)： 工場