反応型スパッター蒸着したTiO<sub>2</sub>膜の固有光触媒性能の評価

RAFIEIAN Damon; DRIESSEN Rick T.; OGIEGLO Wojciech; LAMMERTINK Rob G.H.

文献

J-GLOBAL ID：201502235200842932 整理番号：15A0652882

反応型スパッター蒸着したTiO₂膜の固有光触媒性能の評価

Intrinsic Photocatalytic Assessment of Reactively Sputtered TiO₂ Films

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巻： 7 号： 16 ページ： 8727-8732 発行年： 2015年04月29日
JST資料番号： W2329A ISSN： 1944-8244 CODEN： AAMICK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

チタン板をターゲットにしたマグネトロンスパッタリング装置でTi原子を蒸発し,数水準の酸素分圧雰囲気中で,p型シリコンウエファ基板上に,薄膜を反応蒸着した。薄膜成分は,酸素分圧に依存して,金属TiからTiO₂に変化した。続く熱処理によって結晶構造が変化し,アナターゼTiO₂薄膜が,メチレンブルー(MB)分解に対する光触媒活性を示した。触媒反応リアクター内の物質移動を考慮した数値モデルを用いて,見かけの反応速度から物質固有の触媒反応速度定数を求めた。TiO₂膜の厚さが50nm以上では,反応速度定数が一定で,1.1×10^-5m/sと,既報より一桁以上大きな数値を得た。

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光化学反応 , 塩基,金属酸化物

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反応型スパッター蒸着したTiO2膜の固有光触媒性能の評価

反応型スパッター蒸着したTiO₂膜の固有光触媒性能の評価