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J-GLOBAL ID:201502236021147942   整理番号:15A0429560

準大気圧条件下の気相N2O,NOとO2によるGaAs(100)の表面支援酸化の展開

Evolution of Surface-Assisted Oxidation of GaAs (100) by Gas-Phase N2O, NO, and O2 under Near-Ambient Pressure Conditions
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資料名:
巻: 119  号:ページ: 262-270  発行年: 2015年01月08日 
JST資料番号: W1877A  ISSN: 1932-7447  CODEN: JPCCCK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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準大気圧X線光電子分光法(NAP-XPS)を用いて,広範囲の圧力と温度でGaAs(100)表面上へのN2O,NOおよびO2のような酸化剤の吸着を調べた。この方法により数mbarまでの高圧下で化学反応中の気体/固体界面での表面敏感研究を行うことができる。高分解能光電子スペクトルは,増大した酸化剤圧力と結晶温度下でGaAsの増大した酸化を示唆し,一方酸化の程度は表面エネルギー論と反応速度の相乗効果に依存する。
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分類 (2件):
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均一系触媒反応  ,  固-液界面 

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