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J-GLOBAL ID：201502236173783569   整理番号：15A0456122

近赤外フェムト秒レーザを用いたポリメタクリル酸メチルの精密な表面改質

Precise surface modification of polymethyl-methacrylate with near-infrared femtosecond laser

著者 (5件)： CABALLERO-LUCAS F. (Departament de Fisica Aplicada i Optica, Univ. de Barcelona, Marti i Franques 1, E-08028 Barcelona, ESP) ,  FLORIAN C. (Departament de Fisica Aplicada i Optica, Univ. de Barcelona, Marti i Franques 1, E-08028 Barcelona, ESP) ,  FERNANDEZ-PRADAS J.M. (Departament de Fisica Aplicada i Optica, Univ. de Barcelona, Marti i Franques 1, E-08028 Barcelona, ESP) ,  MORENZA J.L. (Departament de Fisica Aplicada i Optica, Univ. de Barcelona, Marti i Franques 1, E-08028 Barcelona, ESP) ,  SERRA P. (Departament de Fisica Aplicada i Optica, Univ. de Barcelona, Marti i Franques 1, E-08028 Barcelona, ESP)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 336  ページ： 170-175  発行年： 2015年05月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリメタクリル酸メチル(PMMA)表面のラインの作製を調べた。パルス幅450fs,波長1027nmを持つフェムト秒レーザを用いた。z走査法を集束手法として用い,透過率測定を通じてビームウェストに対する試料位置を制御した。これはPMMA試料表面における長さ2mmの連続線の生成を可能にした。ビームウェストに対する試料位置の異なる値に対して,ラインの形状と寸法の変化を調べた。また,連続する衝突レーザパルスの試料表面における異なる値の入射エネルギーと間隔で製作された線に対する効果も調べた。同様な特徴とサイズを持つ線が生成される位置の範囲が得られた。継続する突起の形での表面膨潤として,サブミクロンの表面改質が達成された。試料断面の検査後に,試料表面に関するビームウェストの相対位置に依存して,改質材料表面下で内部改変が現れることが観測された。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ポリメタクリル酸メチル ,  *フェムト秒レーザ ,  赤外レーザ ,  *表面改質 ,  微細構造 ,  光学的測定 ,  位置制御 ,  電子顕微鏡観察 ,  *サブミクロン加工 ,  レーザアブレーション ,  *フェムト秒 ,  *線 ,  *パターン形成 ,  フレキシブル基板
準シソーラス用語： Z走査法 ,  近赤外レーザ

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 近赤外 ,  フェムト秒レーザ ,  ポリメタクリル酸メチル ,  表面改質