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J-GLOBAL ID：201502236637490101   整理番号：15A0446121

バイオミメティクス研究の新潮流 マイクロマシニングによる広視野角なRGB構造色材料の製作

著者 (1件)： 金森義明 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 化学工業  (Chemical Industry)
巻： 66  号： 4  ページ： 279-285  発行年： 2015年04月01日 
JST資料番号： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロマシニングによる広視野角なRGB構造色材料の光学設計,製作および光学特性を紹介する。導波モード共鳴格子フィルタはサブ波長格子(SWG,Subwavelength grating)の波長選択フィルタであり理論値では狭帯域で100%の反射率を持つことを大きな特徴とする。構造色利用カラーフィルタを製作する基板として石英基板の上に100nm厚の単結晶シリコンが堆積されたSOQ(Silicon on Quartz)基板を用いる。SOQ基板上に電子線レジストをスピンコーティングし155nmのレジストの膜厚が得られる。最大反射率81%が赤フィルタで実験的に得られ,またθ=50°の斜め入射光は50%を越えており高い反射率を維持している。

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  色空間 ,  色信号 ,  導波モード ,  *濾波器 ,  選択 ,  *カラーフィルタ ,  ケイ素 ,  反射率 ,  電子線レジスト
準シソーラス用語： RGB ,  *格子フィルタ ,  光反射率 ,  単結晶シリコン ,  波長選択

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (8件)： バイオミメティクス ,  研究 ,  潮流 ,  マイクロマシニング ,  広視野角 ,  RGB ,  構造色 ,  製作