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J-GLOBAL ID：201502237815374133   整理番号：15A0660410

スマート手袋応用のためのシリコン基板上の伸縮可能な金属導体を統合したソフト屈曲センサ

SOFT FLEXION SENSORS INTEGRATING STRECHABLE METAL CONDUCTORS ON A SILICONE SUBSTRATE FOR SMART GLOVE APPLICATIONS

著者 (3件)： MICHAUD Hadrien O. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Lausanne, CHE) ,  TEIXIDOR Joan (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Lausanne, CHE) ,  LACOUR Stephanie P. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Lausanne, CHE)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.2  ページ： 760-763  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者等は,指の関節の相対的回転を符号化した伸縮可能な皮膚のような屈曲センサの製造及び特性化を報告した。初めに,設計として,センサを指の背面と強く接触したエラストマ薄膜中に統合し,又階段的長さを持つ3個の金箔歪ゲージを,液体金属(EGaIn)を用いて相互接続し,これによりソフトセンサとハード金属線との機械的な相互接続を避けたことを説明した。製作では,PDMSプレポリマと硬化剤を100mmのシリコン上に回転塗布し,Cr/Au(5/25nm)薄膜を歪センシングパターン定義用のシャドウマスクを通して熱蒸着し,最後に,シリコンシール材を用いて保護したことを説明した。結果では,iCubの手の上の単一センサの特性化,関節角度の計算,及び手の姿勢の実時間の把握を説明した。結論では,’屈曲センサは,素材及び製作法の選択により,ソフト相互接続,及び歪ゲージを持つ薄く完全に伸縮性のあるシステムとなった。センサの線形性,再現性,及び動的挙動の評価のために,皮膚システムをiCubの手に取り付けた,更に設計制限を克服し,実時間で指の姿勢を再構築できる較正アルゴリズムを提案した。

シソーラス用語： *手袋 ,  運動 ,  センサ ,  歪計 ,  液体金属 ,  ポリジメチルシロキサン ,  角度 ,  線形性 ,  再現性 ,  挙動 ,  真空蒸着
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  関節角度 ,  *屈曲運動 ,  動的挙動 ,  熱蒸着 ,  歪ゲージ ,  *歪センサ

分類 (3件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  金属材料  (HC02020X) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 手袋 ,  応用 ,  シリコン基板 ,  伸縮 ,  導体 ,  統合 ,  ソフト ,  屈曲