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J-GLOBAL ID：201502237858685523   整理番号：15A0530372

ZrN被覆基板上へのプラズマ電解酸化によるジルコニア皮膜の形成

Formation of zirconia coatings on ZrN-coated substrates by plasma electrolytic oxidation

著者 (3件)： HSIAO Chuan-Han (Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Chung Hsing Univ., 250 Kuo Kuang Road, Taichung 402, Taiwan) ,  TENG Huan-Ping (Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Chung Hsing Univ., 250 Kuo Kuang Road, Taichung 402, Taiwan) ,  LU Fu-Hsing (Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Chung Hsing Univ., 250 Kuo Kuang Road, Taichung 402, Taiwan)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 269  ページ： 295-301  発行年： 2015年05月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 広く応用されているジルコニア皮膜を,ZrN被覆されたSi基板上にアルカリ電解液中でのプラズマ電解酸化(PEO)によって作製した。まず,窒化ジルコニウム膜を空気雰囲気の反応性スパッタリング法により基板上に形成した。その後,試験片を2MのNaOH中で電気化学的に42から55Vの範囲の電圧を30秒間印加することによって酸化した。火花放電が46V以上の反応電圧で試料上で観察された。X線回折パターンから,皮膜は主として正方ZrO₂とわずかの単斜ZrO₂で構成されていることが示された。完全な火花放電の存在,結晶性の高い相,多孔質形態,高成長速度はPEO皮膜の特徴である。高導電性のZrNシード層によって,皮膜の成長が著しく容易になる。電気化学的酸化,PEOへの電気化学的酸化の推移,PEOの3種類の反応が同定された。生物腐食試験から,得られたPEO皮膜が大幅に生物腐食性を改善できることを明らかになった。PEOによるZrO₂皮膜の形成機構についても説明した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  セラミック被覆 ,  *ジルコニウム化合物 ,  *窒化物 ,  *アノード酸化 ,  *酸化ジルコニウム ,  *酸化膜 ,  反応性スパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  蒸着膜 ,  正方晶系 ,  単斜晶系 ,  相組成 ,  火花放電 ,  結晶度 ,  多孔性 ,  成長速度 ,  下層 ,  薄膜 ,  生物腐食 ,  耐食性 ,  体液 ,  機構 ,  医用素材
準シソーラス用語： *ケイ素基板 ,  シード層 ,  *プラズマ電解酸化 ,  形成機構 ,  生物材料 ,  多孔質性 ,  *窒化ジルコニウム ,  導電性膜

分類 (2件)： 非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K) ,  医用素材  (GA05040H)

タイトルに関連する用語 (3件)： プラズマ電解酸化 ,  ジルコニア ,  皮膜