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J-GLOBAL ID：201502238944336953   整理番号：15A0224771

ふっ素樹脂製品におけるクリーン化技術(前編)-PFAチューブ通水液のパーティクル測定-

著者 (1件)： 石川俊 (ニチアス)
資料名： ニチアス技術時報
号： 368  ページ： 21-24  発行年： 2015年01月06日 
JST資料番号： G0386C  ISSN： 0288-7991  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体業界は他に類がない「超高清浄」を求められる業界である。その要求水準は半導体の進化とともに高度化され,製造装置や設備を構成する各種部材は,その進化に追従する清浄度を確保する必要がある。汚染物質は,パーティクル(異物微粒子),無機/有機汚染,金属不純物などに大別されるが,それらが物理的,化学的な影響を与えて,回路パターン欠陥,曇りの発生,ゲート素子の信頼性低下などの不良原因となるので,半導体製造に使用される各種構成部材は,それら汚染物質の発生を極力低減する必要がある。今回それら極微小・極微量汚染の正確な測定技術について前編としてパーティクル測定を解説し,あわせてPFAチューブの汚染の実態把握を行った結果を紹介した。詳細には,パーティクル測定として,従来の測定方法の問題点,その解決方法としてのパーティクル測定評価系,与圧測定による気泡ノイズ低減,さらにこの手法を用いた測定事例を述べた。

シソーラス用語： *フッ素樹脂 ,  石油化学製品 ,  PFA樹脂 ,  *プラスチック管 ,  *汚染物質 ,  *濃度測定 ,  加圧 ,  気泡 ,  除去 ,  清浄度 ,  信頼性 ,  *用水
準シソーラス用語： *パーティクル測定

分類 (1件)： 建設材料  (YH06040B)

引用文献 (3件)：

• SEMI (2012)『超純水および液体化学薬品分配システムに使用されるコンポーネント評価のためのパーティクル試験方法ガイドライン』SEMI F107-0312
• 一条和夫 (2002)『HDD分野における微粒子計測』IDEMA JAPAN NEWS No.57 p4
• 日本化学会 (1999)『化学工学便覧 改定6版』丸善 p80

タイトルに関連する用語 (6件)： ふっ素樹脂 ,  クリーン化技術 ,  PFA ,  チューブ ,  通水 ,  パーティクル