p-TiO<sub>2</sub>を利用する抵抗素子の高度に反復可能な低PPMエタノールセンシング特性

HAZRA A.; DUTTA K.; BHOWMIK B.; BHATTACHARYYA Partha

文献

J-GLOBAL ID：201502239172654691 整理番号：15A0214617

p-TiO₂を利用する抵抗素子の高度に反復可能な低PPMエタノールセンシング特性

Highly Repeatable Low-ppm Ethanol Sensing Characteristics of p-TiO₂-Based Resistive Devices

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資料名：
巻： 15 号： 1 ページ： 408-416 発行年： 2015年01月
JST資料番号： W1318A ISSN： 1530-437X CODEN： ISJEAZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

センシング層にゾル-ゲル成長させたp-TiO₂を採用して抵抗センサを開発し,かなりのおおきな応答性と選択性を有しながら比較的低温度領域で低ppm濃度のエタノールを効率的に検出した。メタノール,アセトンおよび2-ブタノンなどに類似のほかのVOCと比べて,この開発したセンサは,きわめて確実に安定してエタノールを検出できることが特徴である。Al金属マスクを用いてp-Si基板上にp-TiO₂層を設け,Pd電極対をその上面に形成して,全体で1.5mm×1.5mm×200nmサイズのセンサをつくった。5~100ppm範囲のエタノール検出の場合に,75~175°Cの充分委低い動作温度で応答し,応答と回復に要する時間も充分に短く,迅速に応答することを確認した。

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分析機器 , 有害ガス調査測定

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p-TiO2を利用する抵抗素子の高度に反復可能な低PPMエタノールセンシング特性

p-TiO₂を利用する抵抗素子の高度に反復可能な低PPMエタノールセンシング特性