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J-GLOBAL ID：201502240074748317   整理番号：15A0591075

強化された感度を持つ水素センサのためのGaN/SiCベースの弾性表面波構造

GaN/SiC based surface acoustic wave structures for hydrogen sensors with enhanced sensitivity

著者 (8件)： RYGER Ivan (Inst. of Electrical Engineering, Slovak Acad. of Sciences, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, SVK) ,  VANKO Gabriel (Inst. of Electrical Engineering, Slovak Acad. of Sciences, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, SVK) ,  LALINSKY Tibor (Inst. of Electrical Engineering, Slovak Acad. of Sciences, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, SVK) ,  HASCIK Stefan (Inst. of Electrical Engineering, Slovak Acad. of Sciences, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, SVK) ,  BENCUROVA Anna (Inst. of Informatics, Slovak Acad. of Sciences, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, SVK) ,  NEMEC Pavol (Inst. of Informatics, Slovak Acad. of Sciences, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, SVK) ,  ANDOK Robert (Inst. of Informatics, Slovak Acad. of Sciences, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, SVK) ,  TOMASKA Martin (Inst. of Electronics and Photonics, Fac. of Electrical Engineering and Information Technol., Slovak Univ. of ...)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 227  ページ： 55-62  発行年： 2015年05月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では,強化された感度を持つ表面弾性波(SAW)水素センサに対するGaN/SiCのヘテロ構造の適用を提示した。より短い音響波長の使用,及びエピタキシャル導波管内への音波エネルギーの閉じ込めにより,このようなセンサの質量負荷感度が増加され得ることを明らかにした。種々のレーリ型モードが質量負荷感度に及ぼす影響も検討した。電気的試験から,SAW波長に依存する相速度と群速度,及び電気機械結合係数を決定した。結果は,マイクロ波SAW遅延線発振器の設計に使用し,その感度特性を提示した。1000ppmH₂/N₂への暴露後,発振器の周波数シフトは60kHzより大きかった。センサの反応時間は,室温で同一センシング条件に対して約12sであった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *窒化ガリウム ,  炭化ケイ素 ,  *センサ ,  位相速度 ,  群速度 ,  結合係数 ,  周波数シフト ,  発振器
準シソーラス用語： *GaN ,  SAW発振器 ,  SiC ,  *水素センサ ,  *弾性表面波センサ ,  電気機械結合係数

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 強化 ,  感度 ,  水素センサ ,  GaN ,  SiC ,  弾性表面波