文献

J-GLOBAL ID：201502241844139663   整理番号：15A0305516

導電性回路の高速でフレキシブルな形成

Fast and Flexible Generation of Conductive Circuits

著者 (14件)： AMEND Philipp (Bayerisches Laserzentrum GmbH, Erlangen, DEU) ,  HENTSCHEL Oliver (Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU) ,  HENTSCHEL Oliver (Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU) ,  SCHEITLER Christian (Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU) ,  SCHEITLER Christian (Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU) ,  BAUM Marcus (Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU) ,  BAUM Marcus (Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU) ,  HEBERLE Johannes (Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU) ,  HEBERLE Johannes (Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU) ,  ROTH Stephan (Bayerisches Laserzentrum GmbH, Erlangen, DEU) ,  ROTH Stephan (Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU) ,  SCHMIDT Michael (Bayerisches Laserzentrum GmbH, Erlangen, DEU) ,  SCHMIDT Michael (Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU) ,  SCHMIDT Michael (Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU)
資料名： Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web)  (Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web))
巻： 8  号： 3  ページ： 276-286 (WEB ONLY)  発行年： 2013年12月 
JST資料番号： U0377A  ISSN： 1880-0688  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,電子的,オプトエレクトロニック的,機械的なデバイスでは,その機能や構造に関する要求条件が厳しくなっている。このようなデバイスの作製や開発では,多様な材料で,伝導性回路を高速でフレキシブルに形成することが重要である。数百ナノメートルの厚みの伝導性層だけでなく,微視的および巨視的な回路を作製するために,レーザに基づく3つの有望な方法を検討した。また,伝導性層の作製のためのプロセスや,ピエゾ複合体のレーザに基づくはんだ付も検討した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： レーザ融解 ,  *レーザ加工 ,  *パターン形成 ,  レーザリソグラフィー ,  フレキシブル基板 ,  高速度 ,  *集積回路 ,  導電性 ,  酸化インジウムスズ ,  ナノ粒子 ,  はんだ付 ,  リソグラフィー ,  立体構造 ,  厚み ,  ナノ構造 ,  複合体 ,  圧電気
準シソーラス用語： ステレオリソグラフィー

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (21件)：

• M. Baum, I. Alexeev, M. Schmidt: Laser Treatment of ITO and ZnO Nanoparticles for the Production of Thin Conducting Layers on Transparent Substrates, Journal of Laser Micro / Nanoengineering, 6, 191-194 (2012).
• M. Baum, S. Polster, M. Jank, I. Alexeev, L. Frey, M. Schmidt: Efficient laser induced consolidation of na-noparticulate ZnO thin films with reduced thermal budget, Applied Physics A - Materials Science and Processing, 107, 269-273 (2012).
• G. Eßer: Laserstrahlunterstützte Erzeugung metallischer Leiterstrukturen auf Thermoplastsubstraten für die MID-Technik, Dissertation, Erlangen, 2002.
• G. Eßer, Jahrsdoerfer, B., Urmoneit, U.; Laser-assisted fabrication of electronic circuits using the ADDIMID process. Proc. SPIE 4274, Laser Applications in Mi-croelectronic and Optoelectronic Manufacturing VI, 375 (June 29, 2001).
• P. Amend, C. Pscherer, T. Rechtenwald, T. Frick, M. Schmidt: A fast and flexible method for manufacturing 3D molded interconnect devices by the use of a rapid prototyping technology, Physics Procedia, 5, Part B, 561-572 (2010).

タイトルに関連する用語 (1件)： 導電性