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J-GLOBAL ID:201502242846833687   整理番号:15A0441495

気流ダイオード効果: 断面変化のあるマイクロチャネルを通る適度な希薄気体流の理論的および実験的分析

The gas flow diode effect: theoretical and experimental analysis of moderately rarefied gas flows through a microchannel with varying cross section
著者 (5件):
資料名:
巻: 18  号:ページ: 391-402  発行年: 2015年03月 
JST資料番号: A1036A  ISSN: 1613-4982  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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適度に希薄な気流は,連続領域の粘性流および高度に希薄な自由分子流と,明白に区別される。各種技術応用のために適切であることから,このような流動過程の理解は,マイクロ電気機械システム(MEMS)および真空技法を大幅に強化するために重要である。本研究で著者らは,縦方向に断面が変化する,長いチャネルを通る,等温希薄気体流に着目した。著者らは二種類の手法,すなわち解析的および線形化S形モデルに基づく数値的を適用し,両手法は任意圧力勾配に対し,拡大および縮小流方向の,質量流量を予測することを可能にした。両手法は,マイクロミリングで作成した,テーパ付マイクロチャネル上での,CO2,N2,および空気の透過実験によって検証した。局所Knudsen数は,0.0471から0.2263にわたった。全ての数値的および解析的結果は,実験結果とよく一致し,ダクトが縮流方向に浸透されたときに,質量流量がかなり高いことを示した。この気流ダイオード効果の物理現象の理解は,静的逆止弁のような,MEMSの新部品の道を整える可能性があるCopyright 2014 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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管内流 

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