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J-GLOBAL ID：201502242931374349   整理番号：15A0642608

静電気と光力によって制御されたナノ加工チューナブル発振器

A NANOMACHINED TUNABLE OSCILLATOR CONTROLLED BY ELECTROSTATIC AND OPTICAL FORCE

著者 (14件)： HUANG J. G. (Xian Jiaotong Univ., Xian, CHN) ,  HUANG J. G. (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  HUANG J. G. (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  DONG B. (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  DONG B. (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  CAI H. (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  GU Y. D. (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  WU J. H. (Xian Jiaotong Univ., Xian, CHN) ,  CHEN T. N. (Xian Jiaotong Univ., Xian, CHN) ,  YANG Z. C. (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  JIN Y. F. (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  HAO Y. L. (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  KWONG D. L. (Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  LIU A. Q. (Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.1  ページ： 45-48  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,静電的に調整可能な光学機械発振器を設計製作し,実験的にテストした。ドープされたカンチレバーは,リング共振のシフトを生じ,静電気力によって変形することができた。同調された光ばね定数により,発振器の共振周波数が変化した。周波数は,印加電圧が7.2Vから9Vまで増加するという状態で,実験において4.2MHzから5MHzまでシフトした。実験での発振器は機械的張力を行使しないで高い同調感度を示した。調整可能な光学機械発振器は,複雑なフィードバックシステムのために小さい寸法,低消費電力と小さい要件のような長所を持っている。そしてそのフィードバックシステムは,シリコンフォトニック回路で,チップ信号処理の将来のアプリケーションのための良好な候補である。

シソーラス用語： 静電気 ,  *ナノメータ加工 ,  *発振器 ,  片持梁 ,  リング共振器 ,  共振周波数 ,  フィードバック系 ,  応用プログラム
準シソーラス用語： アプリケーション ,  カンチレバー ,  *ナノ加工 ,  フィードバックシステム ,  光力

分類 (2件)： 発振回路  (NC05020Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 静電気 ,  光力 ,  ナノ加工 ,  チューナ ,  発振器