文献

J-GLOBAL ID：201502243126401492   整理番号：15A0170005

検査・計測・分析・試験機器シリーズ[44]ナノ薄膜・界面の熱物性評価技術

著者 (1件)： 石川佳寿子 (ピコサーム)
資料名： コンバーテック  (Convertech)
巻： 43  号： 1  ページ： 86-88  発行年： 2015年01月15日 
JST資料番号： Y0873A  ISSN： 0911-2316  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 産業総合研究所は,レーザフラッシュ法を高速化した「パルス光加熱サーモリフレクタンス法」という計測技術を開発し,世界に先駆けて薄膜の熱物性測定に成功した。(株)ピコサームは,本技術をもとに薄膜熱物性測定装置「NanoTR」「PicoTR」を製品化し,数10nm~数10μm厚の金属/酸化物/有機薄膜の熱拡散率,熱浸透率,熱伝導率,多層膜の層間の界面熱抵抗の測定が可能となった。本稿は,両装置の概要と,ナノ薄膜・界面の熱物性評価技術を紹介した。1)はじめに,2)パルス光加熱サーモリフレクタンス法,3)薄膜熱物性測定装置「NanoTR」「PicoTR」,4)国際標準へのトレーサビリティーとJIS規格の制定,5)ナノ薄膜の熱物性評価,6)界面の熱物性評価技術。

シソーラス用語： 試験装置 ,  計測器 ,  分析機器 ,  ナノ構造 ,  *超薄膜 ,  界面 ,  *物理的性質 ,  *技術 ,  *計測 ,  高速化 ,  レーザパルス ,  *加熱 ,  *熱反射率 ,  金属薄膜 ,  酸化物 ,  有機材料 ,  温度伝導率 ,  浸透率 ,  熱伝導率 ,  熱抵抗 ,  国際規格 ,  トレーサビリティ ,  JIS【規格】 ,  ナノシート
準シソーラス用語： *サーモリフレクタンス ,  ナノ界面 ,  ナノ薄膜 ,  *パルス加熱 ,  *レーザフラッシュ法 ,  界面熱抵抗 ,  検査装置 ,  酸化物薄膜 ,  熱拡散率 ,  熱浸透率 ,  *熱物性 ,  *評価技術 ,  有機薄膜

分類 (6件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  固体中の拡散一般  (BL06021L) ,  伝熱一般・基礎  (PA02010O) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  加熱  (PA03040C) ,  温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 検査 ,  計測 ,  分析 ,  試験機器 ,  ナノ薄膜 ,  界面 ,  熱物性 ,  評価