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J-GLOBAL ID：201502243390329929   整理番号：15A0756390

磁気ナノドットアレーを観察するための高分解能光学顕微鏡付き原子間力顕微鏡の試作

Prototype of atomic force microscope with high resolution optical microscope for observing magnetic nanodot arrays

著者 (5件)： JIN Tao (Gunma Univ., Kiryu, JPN) ,  TAKAHASHI Ryosuke (Gunma Univ., Kiryu, JPN) ,  ZHANG Hui (Gunma Univ., Kiryu, JPN) ,  YIN You (Gunma Univ., Kiryu, JPN) ,  HOSAKA Sumio (Gunma Univ., Kiryu, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 643  ページ： 185-189  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 所望の微小領域のAFM像を観察するのに役立つ,高解像度光学顕微鏡(OM)と結合した原子間力顕微鏡(AFM)を開発した。このシステムは光学レバーに基づく原子間力を検出するための,レンズを介した光学路を採用している。対物レンズを低倍率から高倍率に切り替えることで,AFM像を得るための微小領域を容易に見出すことができる。300nmと150nmのピッチを有する磁気ナノドットアレーのAFM像が,このシステムを用いた二つの局所微小領域から得られた。提案したプロトタイプは,AFM像を得るための微小領域を見つける上で十分な機能を有することを実証した。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *光学顕微鏡法 ,  *複合技術 ,  対物レンズ ,  倍率 ,  *配列 ,  *量子ドット ,  ナノ構造 ,  微細構造 ,  構造
準シソーラス用語： 磁気ナノドットアレー ,  *磁気ドット ,  ナノドット ,  局所構造

分類 (2件)： 磁性体測定技術・装置  (BM06030I) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 磁気 ,  観察 ,  高分解能 ,  光学顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  試作