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J-GLOBAL ID：201502244364643379   整理番号：15A0274573

高感度,広帯域幅,および大測定範囲のデュアルレンジ力センサの最適設計

Optimum Design of a Dual-Range Force Sensor for Achieving High Sensitivity, Broad Bandwidth, and Large Measurement Range

著者 (5件)： JIANG Jun (Beihang Univ., Beijing, CHN) ,  CHEN Weihai (Beihang Univ., Beijing, CHN) ,  LIU Jingmeng (Beihang Univ., Beijing, CHN) ,  CHEN Wenjie (Singapore Inst. Manufacturing Technol., Singapore) ,  ZHANG Jianbin (Beihang Univ., Beijing, CHN)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 2  ページ： 1114-1123  発行年： 2015年02月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノインプリントリソグラフィー(NIL)では,力の制御が非常に重要である。そのため,NILの制御プロセスには,高性能の力センサが必要となる。本文では,高感度,広帯域幅,および大測定範囲のデュアルレンジ力センサの最適設計を示した。この力センサでは,発見的多目的最適化法を使用した。本方法は粒子群最適化アルゴリズムに基づき,最適解を見つけるために,Paretoランキング方式を使用した。この最適化に有効性を実証するため,有限要素ソフトウェアCOMSOLによる数値シミュレーションを行った。シミュレーションとプロトタイプの試験の結果,最適化されたセンサが800μNの分解能,150Hzの帯域幅,180Nの測定範囲を持つことがわっかった。

シソーラス用語： *センサ ,  *計測 ,  感度 ,  帯域幅 ,  最適設計 ,  機構 ,  リソグラフィー ,  構造最適化 ,  最適化手法
準シソーラス用語： コンプライアントメカニズム ,  ナノインプリントリソグラフィー ,  粒子群最適化アルゴリズム ,  *力センサ ,  *力測定

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高感度 ,  帯域幅 ,  測定範囲 ,  デュアル ,  レンジ ,  力センサ ,  最適設計