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J-GLOBAL ID:201502245847237629   整理番号:15A0502297

等温閉空間昇華法により成長した傾斜組成CdxZn1-xTe膜

Graded composition Cd x Zn1- Te films grown by Isothermal Close Space Sublimation technique
著者 (10件):
資料名:
巻: 138  ページ: 17-21  発行年: 2015年07月 
JST資料番号: D0513C  ISSN: 0927-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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等温閉空間昇華技術によるCdTeとZnTeのいくつかの交互層を成長させることにより,傾斜組成CdxZn1-xTe膜を形成した。膜の表面に向かって,CdTeの平均濃度の増加を生成する構造に沿って,CdTeとZnTe両層の膜厚を変更した。成長プロセス中のZn/Cdの相互拡散により,一連の層は,比較的滑らかな傾斜組成膜に変換した。X線回折の特性により,層は,(100)配向したGaAs基板に整合して成長したが,比較的高いモザイク状であることを示した。θ-2θプロットは,可変組成試料から予想される様な非常に広い回折ピークを示していた。透明基板を用いた透過測定により,光吸収におけるバンドギャップ格子効果を確認した。X線光電子及び二次イオン質量分光法により,薄膜の組成傾斜プロファイルを確認した。また,試料のRutherford後方散乱スペクトルを分析することにより,Cd,Zn,及びTeの定量的プロファイルを得た。この分析は,試料表面でX=0.8及び基板との界面でx=0.35程度の範囲のCdTeモル分率のプロファイルを示した。簡単でコスト効率の良い方法を使用して,傾斜組成層を成長することの可能性を実証した。著者等は,この結果が,CdS/CdTe太陽電池における可変組成のCdxZn1-xTe 層の様な技術的応用において重要であることを示唆した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  太陽電池 
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