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J-GLOBAL ID：201502246188812560   整理番号：15A0590051

SiO_x/SiO₂多層シリコンリッチ酸化物を用いて生成したSiナノ結晶からの発光の増倍

Enhanced light emission from Si nanocrystals produced using SiO /SiO₂ multilayered silicon-rich oxides

著者 (1件)： YOON Jong-Hwan (Kangwon National Univ., KOR)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 344  ページ： 213-216  発行年： 2015年07月30日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiO_x/SiO₂多層シリコンリッチ酸化物(SRO)のアニーリングにより生成したSiナノ結晶からの発光を,SiO_x層厚の関数として調べた。多層SRO構造は,単層SRO膜と較べて,大きな赤方偏移とともに,発光強度の大きな増大を示した。約6nm厚SiO_1.45層の多層SRO膜は,単層SiO_1.45SROに較べて,約70nmの赤方偏移とともに13倍の発光強度の増倍を示した。TEMは,発光強度の増倍が,隣り合うSiO₂層により相互拡散を妨げられたSi原子のSiO_x層における凝集の増加により誘起されることを示した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *ナノ結晶 ,  *放射強度 ,  *二酸化ケイ素 ,  焼なまし ,  層厚 ,  赤方偏移 ,  凝集 ,  *ナノ複合材料 ,  多層膜 ,  光ルミネセンス ,  *近赤外線 ,  *赤外発光スペクトル

分類 (2件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： SiO2 ,  多層 ,  シリコン ,  酸化物 ,  Si ,  ナノ結晶