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J-GLOBAL ID：201502247079189442   整理番号：15A0467185

スイッチング応用のための微小片持ち梁の設計最適化と製造

Design optimization & fabrication of micro cantilever for switching application

著者 (6件)： KHUSHALANI Deepak G. (Shri Ramdeobaba Coll. of Engineering & Management, Nagpur, IND) ,  DUBEY Vaibhav R. (Shri Ramdeobaba Coll. of Engineering & Management, Nagpur, IND) ,  BHELEY Pratik P. (Shri Ramdeobaba Coll. of Engineering & Management, Nagpur, IND) ,  KALAMBE Jayu P. (Shri Ramdeobaba Coll. of Engineering & Management, Nagpur, IND) ,  PANDE Rajesh S. (Shri Ramdeobaba Coll. of Engineering & Management, Nagpur, IND) ,  PATRIKAR Rajendra M. (V. N. I. T. Nagpur, IND)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 225  ページ： 1-7  発行年： 2015年04月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スイッチング応用に用いる微小片持ち梁の設計最適化と製造について述べた。片持ち梁の長さと厚さおよび電極との間隔が作動電圧を決定した。これらを最適化し,低い作動電圧とアルミニウム配線で取り扱い可能な電流密度で,装置の最適性能を保障するべきであった。田口メソッドの実験計画法を導入し,片持ち梁の設計を最適化した。検討する因子から重要な設計パラメータを得るために分散分析を行った。それらによりMEMS片持ち梁スイッチの性能に寄与する重要な要因をよく理解できるようになった。評価した最適化統計データとCoventorWareソフトウェアを用いてこの設計のシミュレーションを行った。最適化した装置設計を実装し電気的に試験した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *片持梁 ,  田口メソッド ,  分散分析 ,  MEMS ,  実験計画法 ,  マイクロスイッチ ,  小型化 ,  最適化
準シソーラス用語： ANOVA ,  MEMSスイッチ ,  *設計最適化 ,  *微小片持梁

分類 (2件)： 梁,桁  (HD03020H) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (4件)： スイッチング ,  応用 ,  微小片持ち梁 ,  設計最適化