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J-GLOBAL ID:201502247512996528   整理番号:15A0723105

動的アニーリングのin operando観測:ゲルマニウムナノワイヤ素子中のホウ素の事例研究

In operandi observation of dynamic annealing: A case study of boron in germanium nanowire devices
著者 (6件):
資料名:
巻: 106  号: 23  ページ: 233109-233109-4  発行年: 2015年06月08日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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半導体の格子欠陥 

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