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J-GLOBAL ID：201502247688846611   整理番号：15A0268139

多層スタックZnO:Al/Ag/ZnO:Al及びZrO₂/Ag/ZrO₂の構造的,光学的及び電気的特性

Structural, optical and electrical properties of multilayer stacks ZnO:Al/Ag/ZnO:Al and ZrO₂/Ag/ZrO₂

著者 (5件)： DIMOVA-MALINOVSKA D. (Central Lab. of Solar Energy and New Energy Sources, Bulgarian Acad. of Sciences, bulv. Tzarigradsko chaussee, 72 ...) ,  LOVCHINOV K. ,  PETROV M. ,  KARASHANOVA D. ,  ANGELOV O.
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 212  号： 1  ページ： 189-193  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層スタックZnO:Al/Ag/ZnO:Al及びZrO₂/Ag/ZrO₂の構造的,光学的及び電気的特性を研究した。スタックを,ZnO:Al及びAgあるいはZrO₂及びAgターゲットの連続的RFマグネトロンスパッタリングにより,加熱無しでガラス基板上に堆積した。堆積時の試料と180°C,1時間のフォーミングガス雰囲気でアニールした試料の特性を比較した。スタックの構造特性を,TEM及びSEM画像により研究し,Ag膜の半連続的粒状構造を実証した。ZrO₂ベーススタックにおけるAgナノ結晶粒は,ZnOベーススタックにおけるよりも大きなサイズを示した。透過率及び反射率のスペクトルは,Ag原子のd殻電子のバンド間遷移及び自由電子のプラズマ共鳴振動から生じるバンドを示した。堆積時及びアニールスタックのシート抵抗は,3.1~8.9Ω/□の範囲にあり,アニーリング後,わずかに変化した。堆積スタックは,光ハーベスティング及びその効率の改善のために,薄膜太陽電池におけるバック反射体としての応用の可能性を示した。Copyright 2015 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *多層構造 ,  *酸化亜鉛 ,  *アルミニウム ,  *添加 ,  *銀 ,  *酸化ジルコニウム ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  基板 ,  電気装置部品 ,  *焼なまし ,  *集合組織 ,  透過率 ,  反射率 ,  プラズマ共鳴 ,  シート抵抗
準シソーラス用語： *薄膜太陽電池 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  ガラス基板 ,  *アニーリング ,  *粒状構造 ,  ナノ結晶粒

分類 (5件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  半導体と絶縁体の電気伝導一般  (BM03041P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 多層 ,  スタック ,  ZnO ,  Al ,  Ag ,  ZrO2 ,  光学 ,  電気的特性