抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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圧電アクチュエータを予圧荷重下で正弦波駆動したときの変位振幅と比誘電率を同時に計測し,予圧荷重に対するそれぞれの挙動を比較した。また,予圧荷重に対する変位振幅と比誘電率の変化傾向が入力電圧の振幅およびオフセット電圧の大きさによりどのように変化するのかを調査した。調査する圧電素子には,メーカーと特性が異なるソフト材とハード材の圧電素子を用いた。検討の結果,同じ駆動条件下では予圧荷重に対する変位振幅と比誘電率の変化傾向が全く一致しないこと,荷重に対する変位振幅と比誘電率の傾向は入力電圧振幅とオフセット電圧によって変化すること,ソフト材のほうがハード材よりも顕著な変化を示すことを明らかにした。(著者抄録)