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J-GLOBAL ID：201502248136298403   整理番号：15A0133168

セラミックス研究に役立つ放射光技術 軟X線照射を用いたダイヤモンドライクカーボン膜の表面機能化

著者 (1件)： 神田一浩 (Univ. Hyogo)
資料名： セラミックス  (Bulletin of the Ceramic Society of Japan)
巻： 50  号： 1  ページ： 46-52  発行年： 2015年01月01日 
JST資料番号： S0291A  ISSN： 0009-031X  CODEN： SERAA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線耐性のないダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜へ軟X線照射を行い,膜厚,水素含有率・sp²/(sp²+sp³)比等の構造因子と硬度,光学定数等の物性の変化を調べ,その改質過程を明らかにした事例を紹介する。DLC膜は軟X線照射により水素が脱離して物性の改質が可能である。軟X線により脱離する水素と脱離しない水素が存在し,脱離する水素は炭素-水素結合の結合が切れて炭素-炭素結合を生成し,一部が二重結合になる。これによりDLC膜の堆積収縮が起こり密度が増加する。軟X線による表面改質は大きな物性変化が見込まれるので,テフロン表面の濡れ制御など,さまざまな次世代産業用途で役立つ研究が進められている。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  DLC膜 ,  X線回折 ,  *シンクロトロン放射 ,  *軟X線 ,  *表面改質 ,  表面処理 ,  脱着 ,  水素 ,  化学結合 ,  表面性状 ,  濡れ ,  膜厚 ,  厚み測定 ,  水素化 ,  Rutherford散乱分光法 ,  放射線吸収・散乱分析 ,  XANES ,  光学的性質 ,  硬化層
準シソーラス用語： 放射光X線回折 ,  表面機能 ,  水素脱着 ,  濡れ性 ,  照射線量依存性 ,  弾性反跳粒子検出法 ,  NEXAFS ,  光学特性

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  X線回折法  (BK01020I)

引用文献 (32件)：

• 斎藤秀俊監修,”DLC膜ハンドブック”, NTS出版(2006).
• 池永 勝監修,”高機能化のためのDLC成膜技術”,日刊工業新聞社(2007).
• 鹿田真一,NEW DIAMOND,91,2(2008).
• ”2012年版 ドライコーティング市場の全貌と将来展望”, 矢野経済研究所(2012).
• A.C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B,61,14095- 14107 (2000).

タイトルに関連する用語 (6件)： セラミックス ,  研究 ,  放射光 ,  軟X線 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  表面機能化