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J-GLOBAL ID：201502251438686390   整理番号：15A0466418

異なる結晶相を示すビスマス酸化膜の光電子特性

Opto-electronic properties of bismuth oxide films presenting different crystallographic phases

著者 (13件)： GOMEZ Celia L. (Instituto de Investigaciones en Materiales, UNAM, Circuito Exterior s/n CU, Mexico D.F. 04510, MEX) ,  GOMEZ Celia L. (Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales, UNAM, Unidad de Posgrado, Edificio C, Piso 1, Zona Cultural de CU ...) ,  DEPABLOS-RIVERA Osmary (Instituto de Investigaciones en Materiales, UNAM, Circuito Exterior s/n CU, Mexico D.F. 04510, MEX) ,  DEPABLOS-RIVERA Osmary (Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales, UNAM, Unidad de Posgrado, Edificio C, Piso 1, Zona Cultural de CU ...) ,  SILVA-BERMUDEZ Phaedra (Instituto de Investigaciones en Materiales, UNAM, Circuito Exterior s/n CU, Mexico D.F. 04510, MEX) ,  SILVA-BERMUDEZ Phaedra (Instituto Nacional de Rehabilitacion, Calz. Mexico Xochimilco No. 289 Col. Arenal de Guadalupe, C.P.14389, Ciudad de ...) ,  MUHL Stephen (Instituto de Investigaciones en Materiales, UNAM, Circuito Exterior s/n CU, Mexico D.F. 04510, MEX) ,  ZEINERT Andreas (Lab. de Physique de la Matiere Condensee, Univ. de Picardie Jules Verne, 33 rue Saint Leu, 80039 Amiens Cedex 1, FRA) ,  LEJEUNE Michael (Lab. de Physique de la Matiere Condensee, Univ. de Picardie Jules Verne, 33 rue Saint Leu, 80039 Amiens Cedex 1, FRA) ,  CHARVET Stephane (Lab. de Physique de la Matiere Condensee, Univ. de Picardie Jules Verne, 33 rue Saint Leu, 80039 Amiens Cedex 1, FRA) ,  BARROY Pierre (Lab. de Physique de la Matiere Condensee, Univ. de Picardie Jules Verne, 33 rue Saint Leu, 80039 Amiens Cedex 1, FRA) ,  CAMPS Enrique (Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares, Carretera Mexico-Toluca S/N, kilometro 36.5. La Marquesa, Municipio ...) ,  RODIL Sandra E. (Instituto de Investigaciones en Materiales, UNAM, Circuito Exterior s/n CU, Mexico D.F. 04510, MEX)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 578  ページ： 103-112  発行年： 2015年03月02日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波反応性マグネトロンスパッタリングにより堆積したビスマス酸化物薄膜の光学的,電気的,及び構造的特性を調べた。X線回折及びラマン分光法により証明される様な異なる結晶相を有する膜をもたらす酸素富化プラズマ中において,異なる電力及び基板温度の下で,Si及びガラス基板上にBi₂O₃薄膜を成長した。分光エリプソメトリー及び光透過スペクトルを用いて,膜の光学特性を測定した。膜の光学的分散関数(n,k)をパラメータ化するために,Tauc-Lorentz分散モデルを使用した。異なる方法により,光学バンドギャップを評価し,その結果を薄膜の電気抵抗率の熱変動と比較した。著者等は,屈折率,消衰係数,及び光学ギャップが,堆積条件及び結晶相に強く依存することを見出し,蛍石欠陥立方晶δ-Bi₂O₃相は,最低光学ギャップ及び低い抵抗率を有することを示した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  反応性スパッタリング ,  RFスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *酸化ビスマス ,  *蒸着膜 ,  X線回折 ,  Ramanスペクトル ,  プラズマ ,  基板 ,  ケイ素 ,  ガラス ,  偏光解析法 ,  スペクトル ,  *光学的性質 ,  関数 ,  *光学ギャップ ,  *電気抵抗 ,  屈折率 ,  消光
準シソーラス用語： 反応性マグネトロンスパッタリング ,  分光エリプソメトリ ,  光透過スペクトル ,  分散関数

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 結晶相 ,  ビスマス ,  酸化膜 ,  光電子