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J-GLOBAL ID：201502251760292518   整理番号：15A0187559

赤外線センサ用光学材料の耐雨滴性能向上を目的としたカーボン系保護膜の開発

Development of a-C:H Protection Films for Raindrop Impact

著者 (5件)： 池永訓昭 (金沢工大) ,  松井康浩 (金沢工大) ,  斉藤博嗣 (金沢工大) ,  杉本康弘 (金沢工大) ,  佐野雅彦 (NEC)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-14  号： 27-31  ページ： 15-18  発行年： 2014年12月19日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 船舶や航空機,宇宙空間などでの利用を想定して,過酷な環境下でも赤外線用窓の保護膜として有用なDLC膜の開発を行っている。本論文では,赤外線用窓の保護膜としてDLC膜の有用性を検討した。その結果,比較的密着強度に優れたDLC成膜法でSi基板上に成膜したDLC膜の臨界剥離荷重は147~194mNの範囲であり,188.3mN以上の臨界剥離荷重でかつ基材との密着が良好なDLC膜は60MPaの連続水噴流でも剥離しないことが分かり,DLC膜は赤外線用窓材の保護膜として有用であることが明らかとなった。

シソーラス用語： *赤外検出器 ,  *光学材料 ,  耐候性 ,  *耐水性 ,  *水滴 ,  光学窓 ,  *保護膜 ,  *DLC膜 ,  *イオン注入 ,  プラズマ源 ,  剥離 ,  耐性
準シソーラス用語： 耐雨性 ,  雨滴 ,  プラズマイオン注入 ,  耐剥離性

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

引用文献 (1件)：

• 杉本康弘、佐野雅彦、寺 信行:「高速液滴の飛翔とその壁面衝突挙動の観察」、日本機械学会[No.147-1]北陸信越支部 第51期総会・講演会講演論文集(2014)

タイトルに関連する用語 (7件)： 赤外線センサ ,  光学材料 ,  雨滴 ,  性能向上 ,  カーボン ,  保護膜 ,  開発