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J-GLOBAL ID：201502252766757640   整理番号：15A0638357

振動を用いた原子間力顕微鏡カンチレバーに対するスティフネスの多点較正

The multi-position calibration of the stiffness for atomic-force microscope cantilevers based on vibration

著者 (8件)： ZHENG Yelong (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  SONG Le (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  HU Gang (National Inst. of Metrology, Beijing, CHN) ,  CAI Xue (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  LIU Hongguang (Tianjin Inst. of Metrological Supervision and Testing, Tianjin, CHN) ,  MA Jinyu (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  ZHAO Meirong (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  FANG Fengzhou (Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 26  号： 5  ページ： 055001,1-7  発行年： 2015年05月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)は微小な力の定量的な測定に有効なツールであることが認識され始め,DNAの引っ張り強度や,表面での高分子の弾性率の測定などに用いられている。これには,カンチレバーの力学係数の精確な較正を必要とする。今までに,多くの較正法が提案されている。カンチレバーに沿った4または5点を使った多点較正法が開発されている。しかし,最も高い測定精度を与える多点の選び方,あるいは,カンチレバーの長さと幅,機械特性との関係は明らかでない。本研究では,AFMカンチレバーの振動原理に基づく多点較正について調べた。最も高い測定精度を与える較正点を見いだすことに成功した。本方法の有効性を理論的,実験的に確かめた。0.189Nm^-1のスティフネスを持つカンチレバーを標準偏差0.002^-1で測定することができた。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *片持梁 ,  *剛性 ,  キャリブレーション ,  計測 ,  ばね定数 ,  振動
準シソーラス用語： *カンチレバー ,  *スティフネス ,  較正 ,  多点測定

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子間力顕微鏡 ,  カンチレバー ,  スティフネス ,  較正