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J-GLOBAL ID：201502252860590024   整理番号：15A0168217

島状ナノ構造を有するTiN薄膜の濡れ性

著者 (4件)： 中谷正憲 (兵庫県大) ,  花木聡 (兵庫県大) ,  花木聡 (京都マテリアルズ) ,  内田仁 (兵庫県大)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2013  ページ： ROMBUNNO.J112025  発行年： 2013年09月07日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,表面に島状のナノ構造を有するTiN薄膜の濡れ性を評価し,表面性状が濡れ性に及ぼす影響について検討した。イオンビーム支援蒸着法を用いて,丸棒ホルダーに基板を固定し,丸棒を回転させながら成膜した。丸棒を回転させずに成膜したTiN薄膜は平滑な様相であるのに対して,丸棒を回転させながら成膜したTiN薄膜にはサブマイクロオーダの直径を有する島状の凹凸が観察された。薄膜の濡れ性は滴下法により静的接触角を測定した。島状ナノ構造を有するTiN薄膜は平滑なTiN薄膜に比べて撥水性が強くなった。(著者抄録)

シソーラス用語： *濡れ ,  *島状構造 ,  ナノ構造 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  *薄膜 ,  イオンビーム蒸着 ,  接触角 ,  *疎水性 ,  粗面 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： TiN ,  高速加工

分類 (4件)： 固-液界面  (CB12050B) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  切削一般  (QC02010V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 島 ,  ナノ構造 ,  TiN薄膜 ,  濡れ性