抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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水ジェット誘導式レーザ(商品名レーザーマイクロジェット,LMJ)技術はディスク状液体供給空間により実現した,100μm径の微細な層流水ジェットにより安定的に高出力レーザを材料に導く特許の技術である。これはレーザ加工に分類されるが,水ジェットによる冷却と溶解物の除去メカニズムは単純なレーザ加工とは大きく異なる。加工原理と特徴,加工機,加工例を述べた。微細層流水ジェットを利用した加工機は,高精度でしかも量産に対応している。