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J-GLOBAL ID：201502254516743493   整理番号：15A0706799

大気中におけるCVD星形TiN被覆の酸化挙動

Oxidation behavior of CVD star-shaped TiN coating in ambient air

著者 (5件)： TANG Shiyun (Key Lab. of Green Chemistry & Technol. of the Ministry of Education, Coll. of Chemistry, Sichuan Univ., Chengdu ...) ,  WANG Jianli (Key Lab. of Green Chemistry & Technol. of the Ministry of Education, Coll. of Chemistry, Sichuan Univ., Chengdu ...) ,  ZHU Quan (Coll. of Chemical Engineering, Sichuan Univ., Chengdu 610065, CHN) ,  CHEN Yaoqiang (Key Lab. of Green Chemistry & Technol. of the Ministry of Education, Coll. of Chemistry, Sichuan Univ., Chengdu ...) ,  LI Xiangyuan (Coll. of Chemical Engineering, Sichuan Univ., Chengdu 610065, CHN)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 41  号： 8  ページ： 9549-9554  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CVD法により310Sステンレス鋼箔の表面に,星形800-TiN及び850-TiN被覆層を蒸着し,大気中で300°C~800°C,1800sの酸化挙動をXRD,SEM,EDX及びラマン分光法により調べた。850-TiN被覆の初期酸化では,部分的な色の変化が350°Cで起こり,TiN被覆の著しい酸化は400°C~450°Cで発生した。EDXの結果は,850-TiNの明らかな酸化が400°Cで開始し,約9%の酸素が検出され,N原子は全く検出されず,一方,700°C以上の酸化温度ではOの含有量が最大約70%に達することを示した。XRDおよびラマンの結果は,酸化したTiN被覆の表面にルチルTiO₂のみが形成されることを示した。星形TiN被覆の酸化は3つの段階に分けることができた。穏やかな酸化の場合(500°C以下)には,TiN被覆は星形の微細構造を維持し,酸素はTiNの格子中に拡散し,O原子によるNの置換が生じた。中程度の酸化(550~600°C)では,星形の微細構造が(111)双晶面に沿って亀裂を開始し,850-TiN被覆表面に酸化物と酸窒化物層が共存し,粒子境界が明確に残留した。著しい酸化(650~750°C)では,星形の微細構造の亀裂が拡大して明確になり,一方粒子境界は不明瞭になった。800°Cの酸化後,850-TiN被覆は耐スポーリング性が不良なためその効果が失われた。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 大気中 ,  化学蒸着 ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  金属箔 ,  *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  被覆 ,  *被覆層 ,  蒸着膜 ,  *高温酸化 ,  酸素 ,  窒素 ,  酸化チタン ,  ルチル型結晶 ,  結晶形態 ,  亀裂発生 ,  結晶面 ,  結晶粒界 ,  スポーリング ,  固体内拡散 ,  色相
準シソーラス用語： SUS310S ,  酸窒化物 ,  窒化チタン

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気中 ,  CVD ,  TiN被覆 ,  酸化挙動