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J-GLOBAL ID：201502255080709932   整理番号：15A0706419

シリコン上のポリカルボシラン誘導SiC被覆増強ナノ機械及び摩耗特性

Enhanced nano-mechanical and wear properties of polycarbosilane derived SiC coating on silicon

著者 (7件)： MUKHERJEE Jonaki (CSIR-Central Glass and Ceramic Res. Inst., Jadavpur, Kolkata 700032, IND) ,  GHOSH Sujan (Jadavpur Univ., Kolkata 700032, IND) ,  GHOSH Arnab (Jadavpur Univ., Kolkata 700032, IND) ,  RANJAN Ashok (Defence Materials & Stores Res. & Dev. Establishment, Kanpur 208013, IND) ,  SAXENA Arvind K. (Defence Materials & Stores Res. & Dev. Establishment, Kanpur 208013, IND) ,  DAS Probal K. (CSIR-Central Glass and Ceramic Res. Inst., Jadavpur, Kolkata 700032, IND) ,  BANERJEE Rajat (CSIR-Central Glass and Ceramic Res. Inst., Jadavpur, Kolkata 700032, IND)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 325  ページ： 39-44  発行年： 2015年01月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 液体ポリカルボシラン誘導β-SiC及びα-SiC被膜をシリコンウエハ上にCVD法により3つの異なる適度な高温で堆積した。被覆の硬度,換算Young率,弾性回復及び塑性指数のようなナノ機械特性を見積もり,いろいろな堆積温度で比較した。堆積温度の上昇とともに,被覆のナノ機械特性が増大した。その理由は高温における結晶性の増大と良好な接着性であることが観察により明らかになった。更に,被覆試料のトライボロジー特性は,堆積温度の上昇に伴い類似傾向を示したが,α-SiC被覆試料に対するよりもβ-SiC被覆試料に対するものの方がかなり良いことを見出した。全被覆試料は,トライボロジー試験の間に脆性破壊モードを示した。900°C堆積膜が,ほかの温度で堆積した膜よりも,良いナノ機械特性並びにトライボロジー特性を,より良い結晶性及び接着性故に持つことを見出した。そこで,この被膜の増強機械及び摺動特性は,マイクロメータや他のマイクロ素子に応用できるシリコン上の保護膜として使用可能であった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  *炭化ケイ素 ,  *セラミック被覆 ,  *ポリカルボシラン ,  前駆体 ,  *化学蒸着 ,  基板温度 ,  *ナノインデンテーション ,  *微小硬さ ,  トライボロジー ,  脆性破壊 ,  MEMS ,  *接着強さ ,  結晶度 ,  引かき試験

分類 (2件)： 非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (7件)： シリコン ,  ポリカルボシラン ,  誘導 ,  SiC ,  増強 ,  ナノ機械 ,  摩耗特性