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J-GLOBAL ID：201502255258624480   整理番号：15A0422463

将来の高密度フォーマット焦点面アレイの為の銀ナノワイヤベース赤外透明コンタクト

Silver Nanowire-Based Infrared-Transparent Contacts for Future High-Density Format Focal Plane Arrays

著者 (8件)： SON K.-A. (HRL Lab., CA, USA) ,  WONG D. (HRL Lab., CA, USA) ,  SHARIFI H. (HRL Lab., CA, USA) ,  SEO H.C. (HRL Lab., CA, USA) ,  DE LYON T. (HRL Lab., CA, USA) ,  TERTERIAN S. (HRL Lab., CA, USA) ,  MOON J.S. (HRL Lab., CA, USA) ,  HUSSAIN T. (HRL Lab., CA, USA)
資料名： IEEE Transactions on Nanotechnology  (IEEE Transactions on Nanotechnology)
巻： 14  号： 1  ページ： 10-14  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： W1355A  ISSN： 1536-125X  CODEN： ITNECU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 現在の赤外(IR)カメラはセンサアレイとSiの読み出し集積回路を接続するのにインジウムバンプボンディングを使っているが,大フォーマット焦点面アレイ(FPA)では歩留まりが低い。銀ナノワイヤ(Ag NW)から成る赤外透明導電体(ITC)のコンタクトをInAsSb中赤外(MWIR)検出器と組み合わせた。Ag NW ITCの光透過率は0.9~2.5μmの波長にたいして~94%であり,シート抵抗は19.1Ω/□である。Ag NW ITCの温度は波長が増加すると減少していく。Ag NW ITCとInAsSbとのコンタクト抵抗は0.5Ω・mm以下で良好である。ITCコンタクトを集積したInAsSb IR検出器は,150Kで4.25μmのフロントからの照射で外部量子効率(EQE)は85%以上であった。EQEは検出器のフィルファクタに拘わらず高い値を保っている。Ag NW ITCは前面照射高密度フォーマットFPAを可能にするものである。

シソーラス用語： 光検出器アレイ ,  センサ ,  Ohm接触 ,  ナノワイヤ ,  *透明導電膜 ,  *赤外線 ,  赤外検出器 ,  透過率 ,  シート抵抗 ,  量子効率 ,  電流電圧特性
準シソーラス用語： 外部量子効率 ,  *銀ナノワイヤ ,  光透過率 ,  *焦点面アレイ ,  焦点面アレイセンサ

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高密度 ,  フォーマット ,  焦点面アレイ ,  銀ナノワイヤ ,  赤外 ,  コンタクト